半導体フォトレジストの結果 ~ Ryounishigawann

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フォトリソグラフィ（英語 photolithography ）は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光（パターン露光、像様露光などとも言う）することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、集積回路、プリント基板、印刷版、液晶...